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    射頻電源是等離子體設(shè)備的能量驅(qū)動源，主要應(yīng)用于射頻濺射、等離子體化學(xué)氣相沉積(PECVD) 、等離子體鍍膜、清洗、刻蝕等制造行業(yè)。由射頻信號發(fā)生器、功率放大器、VI 檢測單元以及核心處理器等部分組成。

    我公司研制的高性能射頻電源、匹配器系列產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、等離子體刻蝕、等離子體清洗、PECVD/CVD/PVD、薄膜沉積、射頻濺射、醫(yī)療美容、科學(xué)研究等方面。

    工作頻率：13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz

    輸出功率：300W、600W、1kW、1.5kW、3kW、6kW、8kW、10kW、12kW、20kW或定制

v 先進高效率、高穩(wěn)定性射頻功放技術(shù)

v  全數(shù)字控制，高穩(wěn)定度和高可靠性

v  穩(wěn)定可靠的功放和直流控制模塊

v 具有駐波保護功能，能在負載出現(xiàn)異常后快速啟動

v  輸出功率余量大，可長期穩(wěn)定的工作

v  具有精確的功率測量功能，能精確的測量入射和反射功率

v  具有自動增益控制，能精準的控制輸出功率

v  支持本地控制和遠程控制，遠程控制采用RS485和RJ45網(wǎng)口

v  采用先進的功放技術(shù)，輸出功率可從50W至最大輸出功率連續(xù)可調(diào)

v  模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計，安裝維修方便，節(jié)省空間，結(jié)構(gòu)外形美觀，大方

v  支持實時功率和負載阻抗測量

v  支持連續(xù)工作模式、脈沖工作模式

v 完善的保護功能：過荷、過流、過溫等保護

應(yīng)用領(lǐng)域及行業(yè)：
半導(dǎo)體工藝設(shè)備、等離子體處理、材料表面改性、LED與?太陽能光伏產(chǎn)業(yè)?、科學(xué)實驗、醫(yī)療美容、常壓等離子體消毒清洗等

等離子體清洗、等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)、等離子體刻蝕、射頻離子源、等離子體擴散、等離子體聚合濺射、薄膜沉積、硅晶鍍膜等

更多產(chǎn)品

        固態(tài)功率源                          自適應(yīng)匹配器